产品介绍
名称：探针台
型号：Y-4
应用：晶圆、芯片、LED测试、场晶体管、IGBT、分立器件等
测试类型：IV/CV测试、RF测试、光电测试等
搭配仪器：吉时利2400系列、4200系列、安捷伦B2900系列、1500系列等
特点：高性价比探针台，满足手动探针台的测试需求，可测4英寸晶圆，移动行程、观察视野、扎针范围可覆盖整个4英寸晶圆，可升级高温、射频、光纤测试
产品型号 技术参数 | Y-4 | Y-6 | |
探 针 台 台 体 | 样品台 | 4 英寸 | 6 英寸 |
样品台材质 | 不锈钢；可选材质铝合金/黄铜镀金/绝缘材质 | ||
样品台是否接地 | 样品台对地绝缘，可做背电极使用；可选样品台接地 | ||
样品固定 | 真空吸附，三个独立开关控制 | ||
样品台XY移动行程 | 105mm*105mm | ||
样品台XY移动精度 | 高精密导轨，2um移动精度 | ||
样品台旋转 | 360度旋转，±10度可微调 | ||
样品台Z轴升降 | 10mm升降行程 | ||
针 座 平 台 | 材质 | 含磁不锈钢，表面电镀防生锈氧化 | |
可容纳针座数量 | 4 个 | 6 个 | |
结构 | 方形结构 | U 型结构，可兼容探针卡 | |
显 示 系 统 | 显微镜类型 | 单筒显微镜、体视显微镜、单筒金相显微镜 | |
显微镜倍率 | 单筒18X-120X（11.6寸显示器）；体视16X-100X； 单筒金相30X-220X（11.6寸显示器） | ||
调焦范围 | 50.8mm | ||
显微镜移动 | 显微镜绕立柱 360 度旋转，带显示器支架 | ||
CCD成像系统 | 2K或4k相机，帧率60pfs，有拍照/录像/测量功能 | ||
探 针 座 | X-Y-Z行程 | 12mm*12mm*12mm | |
移动精度 | 5um/2um/1um/0.7um/0.5um | ||
探 针 夹 具 | 探针夹具 | 同轴线缆/三轴线缆 | |
漏电精度 | 同轴夹具10pA/三轴夹具100fA | ||
接头类型 | 三轴接头/同轴接头/香蕉头/鳄鱼夹/裸线接口/SMA/射频接头等 | ||
探 针 | 材质 | 钨钢/铍铜 | |
针尖半径 | 0.2um/0.5um/1um/2um/5um/10um/20um/50um/100um | ||
其 他 | 其他选件 | 高温配置/镀金样品台/三轴高温卡盘/屏蔽箱/光学平台/转接头/转接线等 | |
电力需求 | 220V/50Hz | ||
可搭配仪器 | 源表/半导体参数分析仪/万用表/示波器/网络分析仪等 | ||