n 产品介绍
名称：高低温真空探针台
型号：V-4
应用：晶圆、芯片、LED测试、场晶体管、IGBT、分立器件等
测试类型：IV/CV测试、RF测试、光电测试等
搭配仪器：吉时利2400系列、4200系列、安捷伦B2900系列、1500系列等
特点：超高真空环境、避免氧化、结霜，77K-675K温度测试范围，外置探针臂操作更稳定、精准，可兼容不同类型显微镜满足不同观察要求、可满足光谱测试、液氮开循环制冷，降低研发成本，模块化设计、后期可无缝升级配置。
n 产品特点
- 最大样品可测试6英寸晶圆，可定制更大尺寸配置；
- 可搭配单筒显微镜、体式显微镜、金相显微镜；
- 真空度优于2*10E-3Pa；
- 温度范围：-196℃-400℃；
- 可进行I/V、C/V、射频测试、光电测试等；
n 产品参数
产品型号 技术参数 | V-4 | V-6 | |
腔体 | 样品台尺寸 | 4英寸 | 6英寸 |
观察窗 | 高透石英玻璃 | ||
真空度 | 优于2*10E-3Pa | ||
探针臂接口 | 6个 | ||
KF接口 | 2个KF40接口、2个KF25接口、1个KF16接口 | ||
冷源接口 | CF接口，同轴方式 | ||
温度控制 | 温度范围 | -196℃~200℃，可升级更高温度 | |
温控精度 | 1℃/0.1℃/0.01℃ | ||
温度稳定性 | ±1℃/±0.1℃/±0.01℃ | ||
制冷 | 液氮/制冷机 | ||
加热 | 直流加热 | ||
显微镜系统 | 显微镜类型 | 单筒显微镜、体视显微镜、金相显微镜 | |
放大倍率 | 最大400X | ||
固定方式 | 让立柱旋转结构、龙门架固定结构 | ||
探针臂 | 数量 | 最多6个 | |
XYZ移动行程 | 100mm*50mm*50mm | ||
移动精度 | 2um | ||
测试接头 | 三轴接头/射频接头 | ||
探针 | 钨钢/铍铜材质，针尖半径可选 | ||
真空配件 | 分子泵 | 极限真空度10E-7Pa | |
机械泵 | 极限真空度10E-1Pa | ||
附件 | KF25波纹管、KF40卡箍、KF25卡箍、KF16放气阀 | ||
可搭配仪器 | 源表/半导体参数分析仪/万用表/示波器/网络分析仪等 | ||
其他附件 | 射频配件、光学平台、激光器、光纤、转接头、转接线 | ||