n 产品介绍
L系列探针台是我司一款增强型晶圆测试探针台，最大可完成12英寸晶圆的电学测试。此系列探针台采用高刚性显微镜龙门结构，显微镜可X-Y-Z方向进行精密位移调节。卡盘具备上下调节功能，可以使探针与样品快速分离，提高测试效率，在科研单位和半导体工厂都得到了广泛运用，配合对应的仪器仪表，可以完成集成电路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性测试/管芯晶圆/LED/LCD能电池行业的测试。此系列探针台可以实现1μm以上的Pad电极测试。
n 产品特点
- 最大样品可测试12英寸晶圆；
- 显微镜龙门架固定结构，提高稳定性以及移动精度；
- 可搭配单筒显微镜、体式显微镜、金相显微镜；
- 针座平台升降功能，方便更换样品，提高测试效率；
- 样品台气动移动装置，便于大范围移动样品；
- 可进行I/V、C/V、射频测试、光电测试等；
- 模块化设计，可满足客户定制化需求；
n 产品参数
产品型号 技术参数 | L-6 | L-8 | L-12 | |
探 针 台 台 体 | 样品台 | 6 英寸 | 8 英寸 | 12英寸 |
样品台材质 | 不锈钢；可选材质铝合金/黄铜镀金/绝缘材质 | |||
样品台是否接地 | 样品台对地绝缘，可做背电极使用；可选样品台接地 | |||
样品固定 | 真空吸附，三个独立开关控制 | |||
样品台XY移动行程 | 粗调155mm*155mm；微调25mm*25mm | |||
样品台XY移动精度 | 粗调+微调（1um） | |||
样品台旋转 | 360度旋转，±10度可微调 | |||
样品台Z轴升降 | 10mm升降行程 | |||
样品台抽拉行程 | 可快速抽拉100mm，便于快速更换样品 | |||
针 座 平 台 | 材质 | 含磁不锈钢，表面电镀防生锈氧化 | ||
可容纳针座数量 | 6 个 | 8个 | 10个 | |
结构 | U 型结构，可兼容探针卡 | |||
显 示 系 统 | 显微镜类型 | 单筒显微镜、体视显微镜、金相显微镜 | ||
显微镜倍率 | 最大2000X | |||
调焦范围 | 50.8mm | |||
显微镜X-Y移动行程 | 50mm*50mm | |||
CCD成像系统 | 2K或4k相机，帧率60pfs，有拍照/录像/测量功能 | |||
探 针 座 | X-Y-Z行程 | 12mm*12mm*12mm | ||
移动精度 | 5um/2um/1um/0.7um/0.5um | |||
探 针 夹 具 | 探针夹具 | 同轴线缆/三轴线缆 | ||
漏电精度 | 同轴夹具10pA/三轴夹具100fA | |||
接头类型 | 三轴接头/同轴接头/香蕉头/鳄鱼夹/裸线接口/SMA/射频接头等 | |||
探 针 | 材质 | 钨钢/铍铜 | ||
针尖半径 | 0.2um/0.5um/1um/2um/5um/10um/20um/50um/100um | |||
其 他 | 其他选件 | 高温配置/镀金样品台/三轴高温卡盘/屏蔽箱/光学平台/转接头/转接线等 | ||
电力需求 | 220V/50Hz | |||
可搭配仪器 | 源表/半导体参数分析仪/万用表/示波器/网络分析仪等 | |||